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            首頁 > 產品中心 > CIF材料表面處理儀器 > CIF等離子清洗機 > CPC15/35/80/120/150CIF生產型等離子清洗機

            CIF生產型等離子清洗機

            簡要描述:CIF生產型等離子清洗機
            CIF 推出的中試生產型等離子清洗機是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級客 戶而設計的等離子體表面處理設備。配置豐富, 且真空腔體里可分層, 適合大多數生產場景清洗,活化、刻蝕等應用。設備可在嚴苛環(huán)境下 穩(wěn)定運行,產品性能穩(wěn)定,樣品處理重復性、一致性好。

            • 產品型號:CPC15/35/80/120/150
            • 廠商性質:生產廠家
            • 更新時間:2024-10-25
            • 訪  問  量:4617

            詳細介紹

            品牌CIF產地類別國產
            應用領域環(huán)保,化工,能源,電子

            產品特點

            ◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動監(jiān)測工藝參數狀態(tài),20 個配方程序,可存儲、輸出、追溯工藝數據。

            ◆  PLC 工控機控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

            ◆  CIF生產型等離子清洗機采用質量流量計,  氣體流量控制更準確。標配雙路氣體輸送系統(tǒng),   可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)。可輸入氧氣、氬氣、氮氣、 四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。

            ◆  采用多孔道進氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。

            ◆  HEPA 高效過濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

            ◆  316 不銹鋼真空艙,潔凈無污染。

            ◆  全真空管路系統(tǒng)采用 316 不銹鋼材質。

            ◆  處理高效均勻,效率高,工藝重復性好。

            ◆  合理的結構設計,設備占用空間小。

            ◆  可處理各種材質、形狀、尺寸樣品。

            ◆  樣品處理溫度低,無熱損傷和熱氧化。

            ◆  使用成本低、耗損小。

            ◆  產品性能穩(wěn)定,安裝維護,簡單方便。

            ◆  安全保護,艙門打開,自動關閉電源。

            ◆  機器運行、停止提示。



            CIF生產型等離子清洗機技術參數

            型號

            CPC15

            CPC35

            CPC80

            CPC120

            CPC150

            艙體尺寸

            W240xH240

            xD260mm

            W320xH320

            xD350mm

            W420xH400

            xD500mm

            W500xH500

            xD450mm

            W500xH500

            xD600mm

            艙體容積

            15L

            35L

            80L

            120L

            150L

            艙體材質

            不銹鋼

            不銹鋼

            不銹鋼

            不銹鋼

            不銹鋼

            有效尺寸

            W240xD230mm

            W320xD323mm

            W420xD468mm

            W500xxD420mm

            W500xxD565mm

            電極分布

            2 層

            3-4 層

            6 層

            8-10 層

            10-15 層

            射頻電源

            13.56MHz

            13.56MHz

            13.56MHz

            13.56MHz

            13.56MHz

            射頻功率

            0-300W

            0-300W

            0-600W

            0-1000W

            0-1000W

            匹配器

            自動匹配器

            激發(fā)方式

            電容式

            電流

            1.2A

            時間設定

            9999 秒

            氣體穩(wěn)定 時間

            1 分鐘

            真空度

            100pa 以內

            控制系統(tǒng)

            7 寸 PLC 觸摸屏控制

            工藝氣體

            2 氣路 MFC  (可選裝 3 路)

            產品尺寸

            L625xW600

            xH760mm

            L625xW600

            xH805mm

            L905xW845

            xH1940mm

            L625xW600

            xH760mm

            L905xW845

            xH2010mm

            包裝尺寸

            L740xW775

            xH1000mm

            L740xW775

            xH1045mm

            L1015xW1065 xH2050mm

            L1015xW1065 xH2120mm

            L1015xW1065 xH2120mm

            真空泵

            抽速約 8m3/h

            抽速 16m3/h

            抽速 40m3/h

            抽速 60m3/h

            抽速約 60m3/h

            電源

            AC220V

            50/60Hz 552W

            AC220V

            50/60Hz 552W

            AC380V

            50/60Hz 902W

            AC380V

            50/60Hz 1302W

            AC380V

            50/60Hz 1302W

            整機重量

            108kg

            135kg

            465kg

            485kg

            575kg




             

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